目前高純氣體過(guò)濾大多是國(guó)外的供應(yīng)商，國(guó)內(nèi)做的好的廠家不多。看似簡(jiǎn)單，其實(shí)對(duì)工藝和材質(zhì)要求是很高的，對(duì)于耐高溫，耐壓，耐腐蝕，惰性要求之高，可以說(shuō)對(duì)過(guò)濾材料最高要求。

高純氣體過(guò)濾器是一種用于高純氣體(如氮?dú)狻錃?過(guò)濾的裝置。

高純氣體過(guò)濾器用量大，要求很高，競(jìng)爭(zhēng)度小，這是很多過(guò)濾設(shè)備生產(chǎn)商一塊主要板塊。

應(yīng)用：醫(yī)療，食品，電子，半導(dǎo)體制造，石油化工、太陽(yáng)能、液晶面板制造等行業(yè)。

過(guò)濾器外殼材質(zhì)：二次提純不銹鋼316L不銹鋼或鎳過(guò)濾器外殼，EP表面電子拋光。

高純氣體過(guò)濾器材質(zhì)主要有哪些？

市面高純氣體過(guò)濾器材質(zhì)有：不銹鋼，鎳合金，特氟龍PFA濾膜 ,316L燒結(jié)不銹鋼、燒結(jié)金屬鎳多孔金屬過(guò)濾器、Hastelloy C-22燒結(jié)多孔金屬(哈氏合金)等；

高純氣體過(guò)濾具體參考以下僅供參考

（已咨詢恒歌科技銷售工程師取得參數(shù)為準(zhǔn)）

顆粒過(guò)濾效率: 標(biāo)稱流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699測(cè)試規(guī)范，0.08μm MPPS(最容易穿透點(diǎn)顆粒尺寸)過(guò)濾效率確認(rèn))

顆粒過(guò)濾尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)

最大工作壓力: 3750 psig (258.5 barg)

最高使用溫度: 450°C(for Inert Gas)

最大耐受壓差: 1000 psid (68.9 bar)

高純氣體過(guò)濾器多久換一次?

高純氣體過(guò)濾器的更換周期并不是一個(gè)固定的時(shí)間間隔，而是取決于多個(gè)因素，包括過(guò)濾器的類型、使用條件、過(guò)濾效率要求以及過(guò)濾器的性能衰減情況等。

半導(dǎo)體超純氣體過(guò)濾中的氦氣泄漏檢測(cè)

超純氣體，如氫氣、氮?dú)?、氧氣等，廣泛用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中，從晶圓制備到蝕刻、清洗等工藝環(huán)節(jié)，超純氣體的純凈度直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量與性能，氦氣作為一種標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)氣體，因此氦氣泄漏檢測(cè)非常重要。

氦氣泄漏檢測(cè)可用于驗(yàn)證超純氣體過(guò)濾器的密封性和泄漏率，在過(guò)濾器使用前，確保其不泄漏，能夠有效阻擋微小顆粒物或雜質(zhì)的進(jìn)入，從而保護(hù)產(chǎn)品的質(zhì)量。

當(dāng)前，按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行的檢測(cè)中，氦氣泄漏檢測(cè)已成為確保設(shè)備和組件符合高純度氣體供應(yīng)要求的必要手段，使用氦氣泄漏檢測(cè)，過(guò)濾企業(yè)可以保證其產(chǎn)品符合嚴(yán)格的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

高純度氣體如何凈化?

高純度氣體的凈化方法主要有：吸附、吸收法、膜分離法、離子交換法等。

1、吸附凈化：

利用多孔性固體吸附劑將氣體中的雜質(zhì)吸附到其表面而達(dá)到凈化的目的。常用的固體有活性碳和硅膠兩種，其中活性碳是應(yīng)用較多的一種材料;另外還有活性炭纖維、沸石分子篩等材料也被應(yīng)用于此領(lǐng)域。

2、吸收凈化：

利用液體吸收液體的方式去除廢氣中的有害成分的方法稱吸收凈化方法(簡(jiǎn)稱吸脫附)。常用的液體有氨水、氫氧化鈉溶液等堿液以及次氯酸鈉溶液等酸液，它們都是良好的吸收劑，但它們的濃度應(yīng)適當(dāng)并控制好使用條件才能效果良好。

3、膜分離技術(shù)：

膜分離是利用半滲透膜的截留作用使溶劑從被污染的物質(zhì)中轉(zhuǎn)移出去的過(guò)程。它具有高效、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用在各種化工過(guò)程及環(huán)保工程中。

(1)微濾器又稱精密過(guò)濾器和超濾器;

(2)納污量小;

(3)操作壓力低;

(4)可在線再生;

(5)能耗較低;

(6)無(wú)相變;

(7)耐腐蝕性能好;

(8)使用壽命較長(zhǎng);

(9)占地面積小;

(10)自動(dòng)化程度高等優(yōu)點(diǎn);

(11)適用于各種懸浮液的固液萃取和除雜;

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