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TF系列工藝氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計，精準清除UHP超純氣流微粒，保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便，僅需氣路對接與螺母緊固，避免焊接風險，確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈，大幅降低壓力損耗，展現(xiàn)卓越微粒過濾效率，...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

SF系列IGS面板專用過濾器，用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī)格，實現(xiàn)0.003um級高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量，適助力設(shè)備升級無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造，堅固耐用，緊湊...

OF系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計，過濾精度高達0.003um。其結(jié)構(gòu)緊湊、強度高，與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容...

MF系列儀器保護專用過濾器，全金屬材質(zhì)，專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計，兼容114”、3/8”及1/2‘‘VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝，是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下，能有效阻隔微粒侵...

DF系列擴散器專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，...

HF系列高壓氣體專用過濾器，用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合，兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命，能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及...

KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、E...

RF系列多孔金屬限流器RF系列多孔金屬限流器，通過與不同規(guī)格的氣阻配件結(jié)合，安裝在壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中，以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障，引起的意外高氣體流量。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中，用于保護氣體流量穩(wěn)定可靠...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

擴散器專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室...