不銹鋼濾芯過(guò)濾器由316L不銹鋼粉末與金屬配件組合而成,可以根據(jù)定制要求,生產(chǎn)各種形狀、結(jié)構(gòu)、不同精度和孔隙率的多孔元件,具有機(jī)械強(qiáng)度高、耐高溫、耐腐蝕、易清潔、可機(jī)加工等優(yōu)點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于化工、制藥、食品、冶金、石油、環(huán)保等領(lǐng)域的氣液固體過(guò)...
擴(kuò)散器專用過(guò)濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專用過(guò)濾器過(guò)濾精度可達(dá)0.003μm。獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過(guò)濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對(duì)工藝室...
BF系列大宗氣體專用過(guò)濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過(guò)濾應(yīng)用設(shè)計(jì),采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損,過(guò)濾精度高達(dá)0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過(guò)濾解決...
TF系列工藝氣體專用過(guò)濾器,專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì),精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒,保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡(jiǎn)便,僅需氣路對(duì)接與螺母緊固,避免焊接風(fēng)險(xiǎn),確保密封無(wú)憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,展現(xiàn)卓越微粒過(guò)濾效率,...
RF系列多孔金屬限流器RF系列多孔金屬限流器,通過(guò)與不同規(guī)格的氣阻配件結(jié)合,安裝在壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中,以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障,引起的意外高氣體流量。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中,用于保護(hù)氣體流量穩(wěn)定可靠...
KF系列真空系統(tǒng)氣體過(guò)濾器易于安裝于真空系統(tǒng),特別適用于實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過(guò)程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下,可確保產(chǎn)品完整性達(dá)3,000,000次循環(huán)。該過(guò)濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、E...
HF系列高壓氣體專用過(guò)濾器,用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力以及相對(duì)較輕的重量相結(jié)合,兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長(zhǎng)壽命,能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及...
DF系列擴(kuò)散器專用過(guò)濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專用過(guò)濾器過(guò)濾精度可達(dá)0.003μm。獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過(guò)濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,...
MF系列儀器保護(hù)專用過(guò)濾器,全金屬材質(zhì),專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì),兼容114”、3/8”及1/2‘‘VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過(guò)濾器采用墊片式便捷安裝,是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護(hù)屏障。在高達(dá)400℃環(huán)境下,能有效阻隔微粒侵...
OF系列在線式專用氣體過(guò)濾器,專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì),過(guò)濾精度高達(dá)0.003um。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高,與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容...
SF系列IGS面板專用過(guò)濾器,用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī)格,實(shí)現(xiàn)0.003um級(jí)高效顆粒過(guò)濾,保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量,適助力設(shè)備升級(jí)無(wú)憂。全316L不銹鋼構(gòu)造,堅(jiān)固耐用,緊湊...
TF系列工藝氣體專用過(guò)濾器,專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì),精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒,保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡(jiǎn)便,僅需氣路對(duì)接與螺母緊固,避免焊接風(fēng)險(xiǎn),確保密封無(wú)憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,展現(xiàn)卓越微粒過(guò)濾效率,...