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超高純氣體過濾器主要用于壓縮機前置或后置氣體的過濾,對于超純氣體過濾可通過多級處理滿足工況要求,產(chǎn)品無焊接部位,耐壓性能、安全系數(shù)極高,適用于高壓工況下的氣體及液體過濾,體積小,安裝方便,為高壓運行系統(tǒng)提供了相當高的技術(shù)和經(jīng)濟優(yōu)勢。產(chǎn)品應用范圍廣,與大多數(shù)高純度半導體工藝氣體具有良好的兼容性;微納米顆粒過濾能力保持高流量效率,超小壓降。
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