半導體精密過濾壓縮空氣氨氣濾芯納米級過濾器潔凈氣體過濾器

• HF系列高壓氣體專用過濾器，用于半導體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設計壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合，兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命，能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳氫化合物，保護系統(tǒng)免受污染，從而提升氣體質(zhì)量、保障設備高效運行。濾芯可更換，維護簡便。

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