高流量超純氣體擴散器VCR316L真空3納米過濾器工藝潔凈過濾器

• DF系列擴散器專用過濾器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設(shè)計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設(shè)計，靈活適應各類安裝空間。

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