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半導(dǎo)體過濾器定制
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BF系列 大宗氣體專用過濾器

  • 產(chǎn)品詳情

大宗氣體過濾器1.png

BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達(dá)0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案。


技術(shù)參數(shù):

2.png

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)/2、高通量、低阻力

3、超高顆粒攔截率

4、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

5、適用于多種工藝氣體

6、適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

7、100%完整性測試

8、100%氨氣檢漏測試


流量壓差曲線圖

流量壓差曲線圖.png


外形尺寸

外形尺寸.png


產(chǎn)品信息

產(chǎn)品信息.png


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