BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達(dá)0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)/2、高通量、低阻力

3、超高顆粒攔截率

4、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

5、適用于多種工藝氣體

6、適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

7、100%完整性測試

8、100%氨氣檢漏測試

流量壓差曲線圖

外形尺寸

產(chǎn)品信息